本字幕由TME AI技术生成 第二百五十九章国产光刻机 重大成功 一零二所与沪士微电子研究所加上全国三十七个科研单位 六十二个工厂 总共有两千余人参与研发制造 加上与zamm交流的关键工台技术 历经六年时间 拆了六台光刻机 总投入高达数十亿美元 终于结出丰硕的成果 一九九三年十一月 一百九十三纳米氟化亚激光光刻机完成技术攻关 并通过国家论证 型号有两款 代号分别为GKK一九三BJ型和GKK一九三台型 GK一九三台i为投影式光刻机 主要研发单位是沪视微电子研究所 工台关键技术是逆向鸭子末PA三千光刻机 光源使用的是一零二所提供的氟化亚激光光源 透镜系统也是一零二所所设计制造的 GK一九三台i型投影式光刻机优点是精度高 投影准确 控制性好 但缺点是效率不高 完成一块晶圆的光刻过程需要的时间是步进式光刻机的数十倍 在商用上面 投影式光刻机属于淘汰的技术 不过在不计较成本的军用上或者高性能大型计算机上面 尚有用武之地 而GK一百九十三BJA步进式光刻机主要技术来自于阿兹蒙 西门子以及飞利浦交流的技术 主要研发单位是一百零二所 与投影式光刻机相反的是 步进式光刻机最大的好处就是在牺牲一定的稳定 保证良品率的前提下 具备相当高的光刻效率 最适合商用化 可以显著降低芯片的成本 新光刻机的测试早就开始了 试验的制程是一百三十纳米finfet半导体结构直接光刻 事实证明 finfet半导体结构具备优良的物理性能 根本不需要改变 就可以直接应用到一百三十纳米 用一百三十纳米制程制造的AREMV六处理器 速度直接飙升了一点五千兆赫兹 直接冲破了一千兆赫兹速度的大关 一零二所技术攻关团队继续向九十纳米制程探索 GK一九三BJ步进式光刻机成功完成九十纳米制程的探索 不过良品率直接降到了百分之三十二 而使用GK一九三i投影式光刻机完成九十纳米制程的光刻 良品率可以上升两倍 达到百分之六十七 用多重曝光技术探索六十五纳米制程 GKK一九三BGA不仅式光刻机已经很无力了 良品率再次崩塌式下降 一块三英寸晶圆 几百块芯片 碰巧有一两块合格 良品率已经不足百分之一 而GK一九三i投影式光刻机尚能保持百分之四十二的良品率 甚至在四十五纳米制程上 步进式光刻机已经无用了 但GKK一九三i投影式光刻机仍然可以达到百分之十四的良品率 四十五纳米制程已经是一百九十三纳米波长氟化亚激光光刻机的极限了 三十二纳米制程则遇到非常严重的光干涉物理现象 当然 在理论上 使用多重曝光技术是可以完成三十二纳米制程的光刻 但理论上 用三十二纳米制程制造只有两千万晶体管的AARmanvy力处理器 需要的掩模板多达一百多张 工序多达三百多道 此时光刻的效率将严重降低 更别说三百多道工序将是良品率降低到一以下 而造出一块三十二纳米制程的合格芯片 跟中大奖差不多 没有探索的意义了 这些测试数据 小赵老师还是比较满意的 四十五纳米制程是极限 而在商用上 一百三十纳米制程还是可以保证效率和良品率的 但商用九十纳米制程 还需要探索 曲庆林总师眼光还是比较毒的 他对小赵老师说 赵总 我们的光刻机是厉害 不过非分半半体体结构才是神 在在州仪器的时候 新制程需要的攻关的技术可多了 可非分ate技术 能从一微米制程直接过渡到四十五纳米 曲庆林伸出手指头 边数边说 一微米 八百纳米 五百纳米 三百五十纳米 六十五纳米 四十五纳米 好家伙 制程提升了时代 半导体结构不变 赵总啊 你这是一招吃遍天下先 这分半导体结构可真神了 曲总师是海外归国人才 在IBM 德州仪器都待过不少年 弯岛出身 加州大学伯克利分校毕业 当然能进这里 已经审查过很多次了 没有问题 而赵国庆被曲总师刚才说的话刺激的心虚 嗯 说实话 要是有人认真研究华国这些年在半导体上面的发展的话 他们可以发现 华国的半导体技术是跳跃式发展的 一个fefect结构 在外人眼里 或许可以归结为走了狗屎运吧 不过在半导体从业人员眼里就不一样 小赵老师已经不是带着大家前进的火车头了 而是火箭头 但赵国庆不以为意 他说 这次一百九十三纳米 不仅是光刻机 是重大的技术突破 不过国际上技术日新月异 我们也不能懈怠 后续一零二所光刻机研究室主要工作就是继续研发更稳定的工台系统 其次就是双工台 不仅是光刻机要提上日程 曲庆林第一次听到双工台这个名字 字面上的意思是两个工台 至于什么概念他不知道 但从小赵老师嘴里说出来 肯定是了不得的东西 他疑惑的说 赵所长 什么叫双工台 赵国庆说 光刻机工作的时候 用在校准上需要十分钟 而光刻上同样需要数时钟 但如果晶圆在一个工台上光刻的同时 另一个工台上的晶圆进行校准 是不是可以把这个时间节省出来 晶圆在光刻完成后 另一个晶圆校准好 正好可以光刻 嗯 曲庆林眉头微皱 仔细思索一番 便了解其中妙处 双工台一个校准一个光刻 效率将显著提高 要是良品率可以保证的话 最直接的效果就是产量可以显著上升 而芯片的成本可以继续下探 赵国庆看曲庆林一脸难色 笑道 怎么 怕了 曲庆林摇摇头 说 单工台还没有玩明白呢 赵总 现在研发双工台是不是有点早 确实 单工台技术主要是吸收压没勒技术 有些技术我们只是会做 但不明白为什么压没勒这么设计 赵国庆顿了顿 说 但继续深入单工台研究 不影响双工台研究 至少可以做一些前期的探索研究吧 曲庆林说 赵总 你这么看好双工台技术吗 小赵老师点点头 他已经很久没有人质疑他的决定了