本字幕由TME AI技术生成 第一百四十章思路放开 想干就干 一九八七年十月十二日 一零一所新能光刻机场迎来了三名特别的客人 左阳 顾仁达 丁邦开三名在德州仪器芯片加工厂工作的弯岛人 东升船业付了钱 他们三个人只需要在这里待一个月 赵国庆亲自接待了他们 还有何振华教授 卢仪荣总师 王丽佳 刘成敏 吕金超 水泉祥几个新能光科机厂的骨干 小赵老师期待值很高 特别是听到左阳说德州仪器已经攻克八百纳米制造工艺时 德州仪器用的是什么型号的光刻机 用的什么光源 左阳说 用的是尼康NSR一二零步进式扫描光刻机 光源还是用的高压拱灯的爱线了 生产zmpa二千厂里也有两台 德州仪器去年还买了两台GCEA公司的激光扫描光刻机 可以很轻松的实现八百纳米制程 激光 这个词让赵国庆很是敏感 他问道 用的什么激光 丁邦开摇摇头 说 我们只是教你们使PA二千光刻机的 其他的 抱歉 好吧 那就是钱没给够 一人加了两万美元 赶上他们好几个月的收入 自然畅所欲言了 嗯嗯 左阳说 二百四十六纳米的紫光激光机 至于是什么样的激光器就不知道了 反正用这台光刻机 我们演模板缝距可以缩小一倍 光电雷达总师卢一荣总师对赵国庆说 赵所长 他们的激光器应该是用的氟化克准分子激光器 我们所现在就在研究 只不过目前的技术 发射的激光功率还不够 激光产生的条件需要形成粒子数反转 那么当粒子数反转超过一定值后 就会形成震荡 产生激光 当激光发射以后 上能级粒子数就消耗掉了 所以震荡就停止了 直到下一次粒子数累积后再反转 这也就是为什么普通激光器峰值功率不能提高的原因 怎么提高激光的功率 他脑子里的方法可不止一种 调q技术 锁模技术 光学参量放大技术 本来想绕过氟化克紫外激光 还有氟化亚深紫外线准分子激光 直接上开光光源的小赵老师发现自己想多了 全世界在光源这一块最强的美利坚 他们也没办法制造一台亚马勒深紫外光刻机 若是想要商用化 需要多方面的突破 仅仅依靠光源肯定解决不了 而且 x光光源需要的技术难度也不小 开发技术上更成熟的深紫外激光器还是有必要的 看来这些技术路线还是要走一遍 赵国庆对卢仪荣说 紫外线 深紫外线激光光源 下一步将是一百零一所重点项目 还要加入极紫外光项目的研究 卢一荣笑了 能被一零一所升级到重点项目的 无论资金还是人员 将受到极大的倾斜 不过 卢一荣问道 赵所长 极紫外线激光是怎么分类的 我怎么没听说过 赵国庆说 不一定是激光波长十三点五纳米的光源 仅次于开始光的光源 小赵老师摇摇头 极紫外线光源技术保密程度极高 能查到的就是用二氧化碳激光机射击一个小小的吸球 辐射出十三点五纳米的深紫外线 而且光线还是分散的 需要凹面镜来反射 怎么看都像是老美给出的技术陷阱 肯定有别的办法 弯岛人的职务都不高 好在都是一线的 小赵老师试探来试探去 他们对制程这块确实没太多研究 每天的工作也是公式化的 不过有个好处是可以带来规范的车间管理 再问到芯片晶体管结构 小赵老师明悟了 想了想 也难怪 现在i线三百八十六纳米光源还没利用到极限 年前来前量产的三八六处理器还用的一点五微米的制程 但三百八十六纳米光源的极限制程在六百到八百纳米之间 主要芯片加工厂在制程上最需要解决的是合适的半导体结构 多是在晶体管物理层面上探索 使之更加适用于光刻而保证良品率 比如现在德州仪器所用的深沟槽基底离子注入衬垫来解决八百纳米制成带来的晶体管漏电问题 实际上也就是对本身的PNN结构一种改良 并没有涉及到效应晶体管结构的革命 而台鳍片式场效应晶体管才是突破 而制程一直到六十五纳米之后 光刻级光源才开始制约芯片制程的提高 到那个时候 人们才开始研究如何突破现有波长的光源理论制程的极限 多重曝光技术也就是从那个时候开始的 小赵老师想明白这件事 新夏对一零一所芯片制程的发展思路一下子放开了 纷飞场效应晶体管芯片他研究的够深入了 可以直接拿来上八百纳米制程 计划三年内进入商用化 同时在多重曝光技术上加大投入 六年内 三百纳米制程商用化 为此榨干PA二千光刻机最后的性能 三百八十六纳米光源的极限也就差不多了 最多到二百纳米 而六年的时间 准备将氟化克光源 氟化亚光源装到PA二千上 或者装到我们自己的光刻机上 一百三十纳米 九十纳米 六十五纳米 四十五纳米 二十八纳米 十四纳米 一直到KS光终结者光源上线 漫长的二十年芯片发展计划 次日 一零一所激光研究室 小赵老师亲自授课 相位差恒定 振动方向一致 就会产生干涉对吧 当锁定不同激光纵膜及频率之间的相位差后 是不是就会将大部分能量集中到干涉增强处 你们看 这是普通未锁定相位的光强时欲分布 这是锁定后的 小赵老师短短几句话 就给卢一荣团队打开了新思路 他们急忙拿起笔来计算数 十分钟后 卢仪蓉神色激烈的对小赵老师说 通过干涉这种方法 可以用多个激光发生器发出干涉 将脉冲宽度压缩到皮秒量级 甚至到亚飞秒量级 功率达到十九doubleu量级 赵所长 你真的神了 赵国庆摇摇头 拿下卢仪蓉手上的笔 在纸上画了一个草图 这是震荡器 这是展宽器 这是放大器 这是压缩器 你看 光线先展宽 然后放大 再压缩成高功率短脉冲的激光 小卢同学已经麻木了